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高純氣體管道系統(tǒng)的配管及材質(zhì)要求

分類：新聞中心
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來源：
發(fā)布時(shí)間：2024-11-05
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【概要描述】高純氣體管道系統(tǒng)的配管及材質(zhì)要求極為嚴(yán)格，涉及多個(gè)方面的要求和注意事項(xiàng)。通過合理的管道布局、選擇合適的管道材料、加強(qiáng)材料檢驗(yàn)與測試、嚴(yán)格控制清潔度以及設(shè)置清晰的標(biāo)識(shí)和記錄系統(tǒng)等措施，可以確保高純氣體在輸送過程中的純度和質(zhì)量不受影響。

高純氣體管道系統(tǒng)的配管及材質(zhì)要求

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發(fā)布時(shí)間：2024-11-05
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高純氣體管道系統(tǒng)的配管及材質(zhì)要求極為嚴(yán)格，以確保氣體的純度和質(zhì)量在輸送過程中不受影響。以下是環(huán)揚(yáng)未來對(duì)該系統(tǒng)的配管及材質(zhì)要求的詳細(xì)分析：

一、配管要求

管道布局：
- 根據(jù)不同特性的氣體，規(guī)劃獨(dú)立的供應(yīng)區(qū)域，如腐蝕性/毒性氣體區(qū)、可燃性氣體區(qū)、惰性氣體區(qū)?？扇夹詺怏w區(qū)應(yīng)特別規(guī)劃防爆墻與泄漏口。
- 管路設(shè)計(jì)需考慮輸送距離，合理設(shè)計(jì)流速，通常較合理的設(shè)計(jì)流速為20ml/s，可燃性氣體小于10ml/s，毒性/腐蝕性氣體小于8ml/s。
- 管網(wǎng)不宜過大或過長，宜采用不封閉的環(huán)形管路，在系統(tǒng)末端連續(xù)排放少量氣體，避免“死空間”引起氣體污染。
- 管路中應(yīng)減少不流動(dòng)氣體的“死空間”，不應(yīng)設(shè)有盲管，儲(chǔ)氣瓶與用氣設(shè)備間應(yīng)設(shè)吹掃控制裝置、多閥門控制裝置，確保供氣系統(tǒng)安全可靠運(yùn)行。
系統(tǒng)設(shè)計(jì)與用氣設(shè)備：
- 對(duì)高純氣體純度要求不同的用氣設(shè)備，應(yīng)采用分等級(jí)高純氣體輸送系統(tǒng)或在純度要求高的用氣設(shè)備鄰近處設(shè)末端氣體提純裝置。
- 在亞微米級(jí)的集成電路生產(chǎn)中，應(yīng)設(shè)置末端純化裝置或高精度氣體過濾器，確保氣體中的雜質(zhì)含量控制在規(guī)定范圍內(nèi)。

二、材質(zhì)要求

基本原則：
- 管道材料必須能夠承受預(yù)期的工作壓力和溫度，具有良好的耐腐蝕性和耐磨損性，以防止泄漏或爆炸事故。
- 材料應(yīng)具有良好的長期穩(wěn)定性，能夠在各種環(huán)境條件下保持其物理和化學(xué)性能。
- 對(duì)于輸送高純氣體的管道，材料必須具有極低的滲透性和吸附性，以確保氣體的純度和質(zhì)量。
具體材質(zhì)選擇：
- 無縫鋼管：適用于純度在99.99%以內(nèi)的氣體管道，如10#或20#無縫鋼管（內(nèi)表面鍍鋅或純化處理）。
- 不銹鋼管：
  - 總雜質(zhì)含量≤10-100ppm的氣體管道，可采用304不銹鋼光亮退火管（304BA）或304不銹鋼純化處理（304AP）。
  - 總雜質(zhì)含量≤1-10ppm的氣體管道，可采用316L不銹鋼光亮退火管（316LBA）或304不銹鋼電拋光管（304EP）。
  - 總雜質(zhì)含量≤1ppm的高純氣體管道，必須采用316L不銹鋼電拋光管（316LEP）。這種材料具有極高的潔凈度和極低的滲透性，是輸送高純氣體的理想選擇。
- 銅管：通常用于氣體管路的末端和氣體純度要求不是非常嚴(yán)格的場合（如通風(fēng)柜），但相對(duì)于不銹鋼而言，其耐腐蝕性和潔凈度稍遜。
連接材料：
- 鍍鋅管道可采用螺紋連接；不銹鋼管道則常采用焊接連接，包括對(duì)接焊、承插焊或套管焊接等。焊接時(shí)應(yīng)采用高純氬氣保護(hù)焊，并在專用的潔凈室內(nèi)進(jìn)行。

三、其他注意事項(xiàng)

材料檢驗(yàn)與測試：所有管道材料在使用前必須經(jīng)過嚴(yán)格的檢驗(yàn)和測試，以確保其符合相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)和設(shè)計(jì)要求。
清潔度控制：在管道安裝過程中，應(yīng)嚴(yán)格控制清潔度，防止雜質(zhì)進(jìn)入管道系統(tǒng)。對(duì)于高純氣體管道，還應(yīng)采用特殊的清潔方法和設(shè)備進(jìn)行清潔處理。
標(biāo)識(shí)與記錄：管道系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置清晰的標(biāo)識(shí)和記錄系統(tǒng)，以便于維護(hù)和管理。